2020-01-26 08:00 (일)
듀폰사, 천안에 EUV용 포토레지스트 생산라인 가동한다
듀폰사, 천안에 EUV용 포토레지스트 생산라인 가동한다
  • 안강필 기자
  • 승인 2020.01.09 15:58
  • 댓글 0
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글로벌 화학소재 미국 기업인 듀폰이 일본의 수출규제 3대 품목 중 하나인 포토레지스트 생산 공장을 한국에 건설하는 투자를 확정했다. 8일(현지시간) 미국 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 열린 투자 행사에서 듀폰 전자·이미징 사업부의 존 켐프 사장(맨 오른쪽)이 장상현 코트라 인베스타코리아 대표에게 투자신고서를 제출하며 기념촬영을 하고 있다. 미국을 방문 중인 성윤모 산업통상자원부 장관(가운데)이 함께 참석했다. [제공=산업부]
글로벌 화학소재 미국 기업인 듀폰이 일본의 수출규제 3대 품목 중 하나인 포토레지스트 생산 공장을 한국에 건설하는 투자를 확정했다. 8일(현지시간) 미국 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 열린 투자 행사에서 듀폰 전자·이미징 사업부의 존 켐프 사장(맨 오른쪽)이 장상현 코트라 인베스타코리아 대표에게 투자신고서를 제출하며 기념촬영을 하고 있다. 미국을 방문 중인 성윤모 산업통상자원부 장관(가운데)이 함께 참석했다. [제공=산업부]

미국의 화학소재 기업 듀폰(DuPont)사가 2800만달러(약 320억원)를 투자해 충남 천안에 EUV(극자외선)용 포토레지스트 생산시설을 짓는다. EUV용 포토레지스트는 차세대 반도체 생산의 핵심소재로 지난해 일본이 수출규제 조치를 취했던 3개 품목 중 하나다.

9일 산업통상자원부는 미국을 방문한 성윤모 장관이 8일(현지시각) 미국 실리콘밸리에서 존 켐프 듀폰사 사장을 만나 이 같은 내용의 합의했다고 밝혔다.

이 자리에서 듀폰은 코트라(KOTRA)에 투자신고서를 제출했다고 덧붙였다.

존 켐프 사장은 투자신고서를 제출하면서 "EUV용 포토레지스트 개발 생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획"이라고 말했다.

성윤모 장관은 "최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용 등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만, 근본적인 해결방안으로 보기는 어렵다. 정부는 핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속 추진해 나갈 것"이라고 강조했다.

산업부에 따르면 듀폰은 올해부터 내년까지 충남 천안에 EUV용 포토레지스트 개발·생산, 반도체 웨이퍼의 화학기계적 연마 소재(CMP)인 패드 생산라인을 건설한다. 총 투자액은 2억8000만달러(신고기준)다.

포토레지스트는 반도체 실리콘 웨이퍼 위에 펴 바른 후 빛을 받은 부분에 화학 변화를 일으켜 회로를 그리는 작업에 쓰이는 소재다. 우리나라는 포토레지스트 수입의 92%를 일본에 의존해왔다. CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마해 평탄화하는 과정에 사용되는 소재다. 

듀폰은 한국 내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유)를 통해 지난 1998년부터 천안에 2개의 공장을 가동해 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산하고 있다. 

이번 투자는 듀폰사가 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발 및 공급 다변화 요구에 따라 EUV용 포토레지스트 등 점차 성장 중인 시장에 선제적으로 대응하기 위한 것이라고 산업부는 설명했다.

산업부는 "극자외선용 포토레지스트는 현재 주로 일본으로부터 수입에 의존하고 있으나 이번 투자유치를 통해 미국, EU 기업으로 동 품목의 공급선을 다변화 하는데 기여할 수 있다는 점에서 의의가 매우 크다"며 "이번 투자를 통해 국내기업과의 상생협력 및 소재‧부품‧장비 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대한다"고 설명했다.

이어 "정부와 해당 지자체는 투자 부지에 대한 외국인투자지역 지정과 임대료 감면 등의 인센티브를 차질없이 부여하도록 노력할 예정"이라고 강조했다.
 


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